1. Prionsabal an eastóscadh aeir
Taobh istigh den cryopump tá pláta fuar fuaraithe go dtí teocht an-íseal le héiliam leachtach nó le cuisneoir. Comhdhlúthaíonn sé an gás agus coinníonn sé brú gaile an chomhdhlútháin faoi bhrú deiridh na caidéil, ionas go mbainfear amach an éifeacht caidéalaithe. Is iad príomhfheidhmeanna caidéalaithe teocht íseal ná comhdhlúthú teocht íseal, asaithe teocht íseal agus gabháil teocht íseal.
① Comhdhlúthú teocht íseal: comhdhlúthaíonn móilíní gáis ar dhromchla an phláta fuar nó ar an gciseal gáis comhdhlúite, agus tá an brú cothromaíochta go bunúsach comhionann le brú gaile an chomhdhlútháin. Nuair a bhíonn aer á phumpáil, ní mór teocht an phláta fuar a bheith níos ísle ná 25K; nuair a bhíonn an hidrigin á chaidéalú, tá teocht an phláta fuar níos ísle. Is féidir le tiús an chiseal comhdhlúthaithe comhdhlúthaithe agus eastóscadh íseal-teocht thart ar 10 mm a bhaint amach.
② Asaithe teocht íseal: Déantar na móilíní gáis a adsorbú ar dhromchla an adsorbent atá brataithe ar an pláta fuar le tiús ciseal monomolecular (in ord ceintiméadar). Tá an brú cothromaíochta le haghaidh asaithe i bhfad níos ísle ná an brú gaile ag an teocht chéanna. Má tá an brú gaile hidrigine comhionann le brú an atmaisféir ag 20K, tá an brú cothromaíochta asaithe níos ísle ná Pa nuair a bhíonn hidrigin á ionsú le 20K de charbón gníomhachtaithe. Mar sin is féidir caidéalú a dhéanamh trí asaithe crióigineach ag teochtaí níos airde.
③Gaisteáil chrióigineach: Déantar móilíní gáis nach féidir a chomhdhlúthú ag an teocht eastósctha a adhlacadh agus a asú ag an gciseal fáis de ghás comhdhlúite.
Go ginearálta, is é brú deiridh na caidéil brú gaile an gháis chomhdhlúite ag teocht an phláta fuar. Nuair a bhíonn an teocht 120K, tá an brú gal uisce cheana féin níos ísle ná Pa. Ag teocht 20K, ach amháin i gcás héiliam, neon agus hidrigin, tá brú gaile na ngás eile níos ísle ná Pa.
Mar sin féin, mar gheall ar theocht dhifriúil an choimeádáin pumpáilte agus an pláta fuar crióigineach, tá brú deiridh na caidéil níos airde ná brú gaile an chomhdhlútháin. Maidir le soitheach ag teocht an tseomra, le cryopanel de 20K, tá brú deiridh na caidéil thart ar 4 huaire brú gaile an chomhdhlútháin.
2. Cineál
Roinntear cryopumps ina dhá chineál: cryopumps héiliam leachtach de chineál insteallta agus criópumpaí cuisniúcháin héiliam gáis ciorcad dúnta.
Instealladh cryopump héiliam leachtach
Tá sé comhdhéanta go príomha de choimeádán héiliam leachtach, comhlacht caidéil agus cuas nítrigine leachtach atá ceangailte le sciath. D'fhonn tomhaltas héiliam leachtach a laghdú, glacann balla seachtrach an choimeádáin héiliam leachtach balla inslithe teirmeach ciseal dúbailte agus aslonnaithe eatarthu.
Nuair a bhíonn an caidéal réamhphumpáilte go brú Pa, déantar nítrigine leachtach agus héiliam leachtach a instealladh, agus comhdhlúthaíonn an gás ar an pláta fuar oibre de 4.2K. Tar éis réamhphumpáil, tá an brú páirteach héiliam agus hidrigineach san ord Pa, agus mar sin is féidir leis an gcaidéal an brú deiridh a fháil faoi bhun Pa. Má dhéantar an coimeádán héiliam leachtach a aslonnú agus a dhí-chomhbhrú go 6650 Pa, is féidir le teocht an leacht héiliam. a laghdú go 2.3K, agus is féidir brú teorainn níos ísle a fháil.
Crióphump cuisneoir héiliam gáis timthriall dúnta
Is cineál nua cryopump é a bhí le feiceáil sna 1970í. Ní itheann an caidéal seo héiliam, tá sé éasca a oibriú, éasca le cothabháil, agus tá sé in úsáid níos mó. Is é héiliam gáis meán cuisniúcháin an chuisneora, is é 50-100K teocht an phláta fuar den chéad chéim, agus is é 65K an t-iarratas tipiciúil, a úsáidtear chun gal uisce a chomhdhlúthú agus gáis eile a réamh-fhuarú; Is é 10-20K teocht an phláta fuar dara céim, a úsáidtear chun nítrigin a chomhdhlúthú, gáis amhail ocsaigine agus argón.
Tá dromchla istigh an phláta fuar tánaisteach brataithe le carbón gníomhachtaithe. Tá cumas asaithe láidir ag carbón gníomhachtaithe le haghaidh héiliam, neon agus hidrigin ag teocht íseal. Tá an pláta fuar déanta as copar saor ó ocsaigine, agus tá an dromchla snasta go leibhéal scátháin chun an emissivity a laghdú.
Is é Pa brú deiridh na caidéil, is é Pa an raon brú oibre, agus is é 1 Pa an brú réamhphumpála a éilítear. Tá ráta caidéalaithe an táirge críochnaithe 60,000 lítear in aghaidh an dara háit. Ina theannta sin, de réir saintréithe an phróisis, is féidir an pláta fuar eastóscadh aeir a shocrú sa choimeádán pumpáilte, agus is féidir leis an ráta eastóscadh aeir níos mó ná 106 lítear / soicind a bhaint amach.