Is caidéal folúis é cryopump a úsáideann dromchla teocht íseal chun gás comhdhlúthaithe, ar a dtugtar caidéal comhdhlúthán freisin. Is féidir leis an cryopump bhfolús glan a fháil leis an ráta caidéalaithe is airde agus an brú deiridh is ísle, agus úsáidtear go forleathan é i dtaighde agus i dtáirgeadh leathsheoltóirí agus ciorcaid chomhtháite, chomh maith le taighde beam móilíneach, trealamh sciath bhfolús, ionstraimí anailíse dromchla bhfolús, ian. ionchlannáin agus gléasanna insamhalta spáis, etc. gné.
prionsabal caidéalaithe
Taobh istigh den cryopump tá pláta fuar fuaraithe go dtí teocht an-íseal le héiliam leachtach nó le cuisneoir. Comhdhlúthaíonn sé an gás agus coinníonn sé brú gaile an chomhdhlútháin faoi bhrú deiridh na caidéil, ionas go mbainfear amach an éifeacht caidéalaithe. Is iad príomhfheidhmeanna caidéalaithe teocht íseal ná comhdhlúthú teocht íseal, asaithe teocht íseal agus gabháil teocht íseal.
① Low temperature condensation: gas molecules condense on the surface of the cold plate or on the condensed gas layer, and the equilibrium pressure is basically equal to the vapor pressure of the condensate. When pumping air, the temperature of the cold plate must be lower than 25K; when pumping hydrogen, the temperature of the cold plate is lower. The thickness of the low-temperature condensation and extraction condensation layer can reach about 10 mm.
②Low temperature adsorption: The gas molecules are adsorbed on the surface of the adsorbent coated on the cold plate with a thickness of a monomolecular layer (in the order of centimeters). The equilibrium pressure for adsorption is much lower than the vapor pressure at the same temperature.
Má tá an brú gaile hidrigine comhionann le brú an atmaisféir ag 20K, tá an brú cothromaíochta asaithe níos ísle ná Pa nuair a bhíonn hidrigin á ionsú le 20K de charbón gníomhachtaithe. Mar sin is féidir caidéalú a dhéanamh trí asaithe crióigineach ag teochtaí níos airde.
③Cryogenic trapping: Gas molecules that cannot be condensed at the extraction temperature are buried and adsorbed by the growing layer of condensable gas.
Go ginearálta, is é brú deiridh na caidéil brú gaile an gháis chomhdhlúite ag teocht an phláta fuar. Nuair a bhíonn an teocht 120K, tá an brú gal uisce cheana féin níos ísle ná Pa. Ag teocht 20K, ach amháin i gcás héiliam, neon agus hidrigin, tá brú gaile na ngás eile níos ísle ná Pa.
Mar sin féin, mar gheall ar theocht dhifriúil an choimeádáin pumpáilte agus an pláta fuar crióigineach, tá brú deiridh na caidéil níos airde ná brú gaile an chomhdhlútháin.
Maidir le soitheach ag teocht an tseomra, le cryopanel de 20K, tá brú deiridh na caidéil thart ar 4 huaire brú gaile an chomhdhlútháin.